Drukuj Eksport do pliku (MS Word)
Nazwa przedmiotu:
Mikrourządzenia MEMS
Koordynator przedmiotu:
dr inż. Marcin Michałowski
Status przedmiotu:
Obowiązkowy
Poziom kształcenia:
Studia I stopnia
Program:
Mechatronika
Grupa przedmiotów:
Obowiązkowe
Kod przedmiotu:
MUM
Semestr nominalny:
7 / rok ak. 2020/2021
Liczba punktów ECTS:
2
Liczba godzin pracy studenta związanych z osiągnięciem efektów uczenia się:
"Liczba godzin bezpośrednich – 31 , w tym: • wykład -30 godz, • konsultacje – 1 godz. Praca własna studenta - studia literaturowe, analiza zagadnień i przygotowanie do zaliczenia wykładu 25 godz. Razem 55 godzin =2 ECTS "
Liczba punktów ECTS na zajęciach wymagających bezpośredniego udziału nauczycieli akademickich:
1 punkt ECTS - liczba godzin bezpśrednich – 31 , w tym: • wykład -30 godz, • konsultacje – 1 godz.
Język prowadzenia zajęć:
polski
Liczba punktów ECTS, którą student uzyskuje w ramach zajęć o charakterze praktycznym:
Formy zajęć i ich wymiar w semestrze:
  • Wykład30h
  • Ćwiczenia0h
  • Laboratorium0h
  • Projekt0h
  • Lekcje komputerowe0h
Wymagania wstępne:
Podstawy fizyki i budowy materiałów, podstawowe wiadomości z mikromechatroniki
Limit liczby studentów:
30
Cel przedmiotu:
Uzyskanie wiadomości dotyczących budowy i zastosowań mikrourządzeń wykonywanych w technologii mikrosystemów (MEMS)
Treści kształcenia:
Podstawowe informacje dotyczące techniki MEMS i jej historii. Efekt skali w wytwarzaniu urządzeń. Systematyka mikrosystemów , stosowane techniki wytwarzania, materiały, problemy. Projektowanie i konstruowanie mikrourzadzeń MEMS. Problematyka badań mikrosystemów. Przykłady zastosowania mikrosystemów: Czujniki ciśnienia, akcelerometry, żyroskopy, kompasy, czujniki siły i przepływomierze, czujniki ultradźwiękowe, spektrometry, urządzenia MEMS stosowane w bioinżynierii Przełączniki , filtry, anteny Techniki wytwarzania urządzeń w technologii MEMS: fotolitografia, trawienie, nakładanie warstw, warstwa poświęcalna Budowa oraz funkcjonowanie pracowni czystych
Metody oceny:
Zaliczanie w systemie punktowym wykładu: punkty zdobywane za dwie prace pisemne oraz pracę bieżącą
Egzamin:
nie
Literatura:
Dziuban J.A., Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2004 Maluf W., Williams K., An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Artech House, Boston, 2004 S.Senturia, Microsystem Design, Kluwer, Boston 2001 Gardner J.W., Microsensors MEMS and Smart Devices, J.Wiley, Chichester 2001 Beeby S., Ensell, Kraft M., White N., MEMS Mechanical Sensors, Artech House, Boston 2004 Pustan M., Rymuza Z., Mechanical and Tribological Characterization of MEMS Structures, Risoprint, Cluj-Napoca 2007 Koch Ch., Rinke T., Photolithography Basis of Microstructuring, Siegl Druck & Medien GmbH & Co. KG, 2020
Witryna www przedmiotu:
mchtr.pw.edu.pl
Uwagi:

Efekty uczenia się

Profil ogólnoakademicki - wiedza

Charakterystyka MUMS_W01
Zna podstawy budowy mikrorzadzeń MEMS i ich wyboru jako produktów rynkowych do zastosowania jako podzespoły budowanych urządzeń mechatronicznych lub jako gotowych mikrourządzeń.
Weryfikacja: kolokwium
Powiązane charakterystyki kierunkowe: K_W03, K_W16, K_W17, K_W19
Powiązane charakterystyki obszarowe: P6U_W, I.P6S_WG.o, III.P6S_WG

Profil ogólnoakademicki - umiejętności

Charakterystyka MUMS_U01
jest przygotowany do zawodowego rozwoju w tej specjalności i potrafi wybrać mikrourządzeń jako podzespoły do budowy urządzeń mechatronicznych.
Weryfikacja: kolokwium
Powiązane charakterystyki kierunkowe: K_U08, K_U21
Powiązane charakterystyki obszarowe: P6U_U, I.P6S_UW.o, III.P6S_UW.o

Profil ogólnoakademicki - kompetencje społeczne

Charakterystyka MUMS_K01
Jest przygotowany do propagowania wiedzy o nowoczesnej technice mikrorządzeń MEMS
Weryfikacja: kolokwium
Powiązane charakterystyki kierunkowe: K_K01, K_K03
Powiązane charakterystyki obszarowe: I.P6S_KO, P6U_K, I.P6S_KR, I.P6S_KK